中・小型チェンバー

  

中型チェンバー1基と小型チェンバー2基が設置されています。

 

本体:

中型チェンバー:直径100cm、長さ200cmのステンレス製円筒型真空槽

小型チェンバー:直径60cm、長さ100cmのステンレス製円筒型真空槽

到達真空度:約1×10-6 Torr (1.3×10-4 Pa)

プラズマ源:

              後方拡散型プラズマ源:プラズマ密度104106cm-3、電子温度0.13eV

              ダブルプラズマ装置:電子密度108109cm-3、電子温度約1eV